TECHNOLOGY INNOVATION

MARU9000 系列 (基于压力传感器的MFC)
压力式质量流量控制器

MARU9000 系列 (基于压力传感器的MFC)
MARU9000系列具有良好的线性度,精确在设定值的±0.5%范围内,采用实际气体和变化率验证方法,前端压力和温度补偿算法。
FEATURES
-基于压力传感器的质量流量控制器(PS MFC)。
-超快的响应时间(≤0.5sec)。
-在MARU系列中精度最高(≤0.5% of S.P.)。
-表面电抛光处理,耐腐蚀性强。
-数字通信:Device NET, RS-485, Analog。
-可以通过液晶显示查看MFC的各种信息。
SPECIFICATIONS
model MARU9000 / 9001 / 9002 / 9010 / 9011 / 9012
flow range (N2 Equivalent) 5 sccm ~ 20 slm
Flow Rate Control Range 全量程的0.5% ~ 100%
Accuracy ≤标准量程± 1.0% (10~100%), ≤全量程± 0.1% (0.5~10%)
Response Time ≤ 0.5 秒
Linearity ≤全量程± 0.2%
Repeatability ≤全量程± 0.3%
Normal Operating Pressure 20~60psig
Maximum Operating Pressure 60psig
Valve Shut Down <全量程 0.01%
Zero Stability
Temperature Coefficient ±1 °C (15 ~ 50 °C)
Leak Integrity ≤ 5 x 10-¹² Pa.m³/sec (He)
Control Valve type 常闭电磁阀
Seal type 金属密封
Digital Interface Analog 0~5 VDC, Digital RS-485, D-Net, EtherCAT
Power Supply +15~24 VDC, 320mA max@15VDC, 300mA max @24VDC
Operation Temperature 5 ~50 °C (推荐温度范围 : 15~35 °C)
Warm-up Time 30 分钟 (保证精度 : 60 分钟)
Material STS-316L 电抛光 / 光亮退火 (<0.1㎛ Ra)
Pressure Insensitivity ≤全量程± 2% 上升/下降 至 5psi/sec
Display type 顶部安装集成 LCD
DIMENSIONS