TECHNOLOGY INNOVATION

MARU7000 系列 (压力不敏感 MFC)
压力不敏感质量流量控制器

MARU7000 系列 (压力不敏感 MFC)
MARU7000PI是MKP在半导体制造工艺方面的代表,如CVD、扩散、蚀刻、金属互连等。
它是一个压力不敏感数字热式MFC,注册为三星电子和海力士通用规格。
FEATURES
-压力不敏感质量流量控制器(PI MFC)。
-快速的响应时间(≤1sec)。
-经过PI函数分析,稳定性优于MARU 5000 系列。
-表面电抛光处理,耐腐蚀性强。
-数字通信:EtherCAT,Device NET,RS-485,Analog。
SPECIFICATIONS
model MARU7000 / 7001 / 7002 / 7010 / 7011 / 7012
flow range (N2 Equivalent) 5 sccm ~ 50 slm
Flow Rate Control Range 全量程的 2% ~ 100%
Accuracy ≤标准量程± 1.0% (25~100%), ≤全量程± 0.25% (5~25%)
Response Time ≤ 1.0 秒
Linearity ≤全量程± 0.2%
Repeatability ≤全量程± 0.15%
Normal Operating Pressure 50~300 kPa (5 sccm ~ 30 slm), 250~450 kPa (30 slm ~ 50 slm)
Maximum Operating Pressure 300 kPa(5 sccm ~ 30 slm), 450 kPa(30 slm ~ 50 slm)
Valve Shut Down <全量程 0.01% (5 sccm ~ 30 slm), <全量程 0.1% (30 slm ~ 50 slm),
Zero Stability 每年全量程≤± 0.5%
Temperature Coefficient 每°C全量程0.01%
Leak Integrity ≤ 5 x 10-¹² Pa.m³/sec (He)
Control Valve type 常闭电磁阀
Seal type 金属密封
Digital Interface Analog 0~5 VDC, Digital RS-485, D-Net, EtherCAT
Power Supply +15~24 VDC, 320mA max@15VDC, 300mA max @24VDC
Operation Temperature 5 ~50 °C (推荐温度范围 : 15~35 °C)
Warm-up Time 30 分钟(保证精度 : 60 分钟)
Material STS-316L 电抛光 / 光亮退火 (<0.1㎛ Ra)
Pressure Insensitivity ≤全量程± 2% 上升/下降 至 5psi/sec
Display type 顶部安装集成4位 FND , LCD
DIMENSIONS