TECHNOLOGY INNOVATION

MARU5000 系列 (标准 MFC)
数字式质量流量控制器

MARU5000 系列 (标准 MFC)
Maru5000是韩国首个半导体制造工艺的MFC。
数字热式MFC,注册为三星电子公司通用规格。
FEATURES
-标准质量流量控制器。
-性能(响应时间和精度)相当于MARU7000系列。
-经电抛光表面处理,耐腐蚀性强。
-数字通信:Device NET, RS-485, Analog。
SPECIFICATIONS
model MARU5000 / 5001 / 5002 / 5010 / 5011 / 5012 / 5020 / 5021 / 5022 / 5030 / 5031 / 5032
flow range (N2 Equivalent) 5 sccm ~ 200 slm
Flow Rate Control Range 全量程的2% ~ 100%
Accuracy ≤± 1.0% of Reading Scale (25~100%), ≤全量程± 0.25% of Full Scale (5~25%)
Response Time < 1.0 秒
Linearity ≤全量程± 0.2%
Repeatability ≤全量程± 0.15%
Normal Operating Pressure 50~300 kPa (5 sccm ~ 30 slm), 250~450 kPa (30 slm ~ 200 slm)
Maximum Operating Pressure 300 kPa(5 sccm ~ 30 slm), 450 kPa(30 slm ~ 200 slm)
Valve Shut Down <全量程 0.01% (5 sccm ~ 30 slm), <全量程 0.1% (30 slm ~ 200 slm),
Zero Stability 每年全量程≤± 0.5%
Temperature Coefficient 每°C全量程0.01%
Leak Integrity ≤ 5 x 10-¹² Pa.m³/sec (He)
Control Valve type 常闭电磁阀
Seal type 金属密封
Digital Interface Analog 0~5 VDC, Digital RS-485, D-Net, EtherCAT
Power Supply +15~24 VDC, 320mA max@15VDC, 300mA max @24VDC
Operation Temperature 5 ~50 °C (推荐温度范围 : 15~35 °C)
Warm-up Time 30 分钟 (保证精度 : 60 分钟)
Material STS-316L 电抛光 / 光亮退火
Pressure Insensitivity
Display type 顶部安装集成 LCD (EtherCAT)
DIMENSIONS