TECHNOLOGY INNOVATION

MARU3000 系列 (经济型 MFC)
数字式质量流量控制器

MARU3000 系列 (经济型 MFC)
MARU3000系列是MKP的入门型号,但性能非常正常。MKP在保持客户满意的性能的同时,努力降低成本,并生产出了MARU3000系列。 性能,例如MFC应该具有的精度和响应速度,都类似于更高端的产品。类似于高端的MARU5000系列,价格合理,是一款具有超常因素的畅销型号。
FEATURES
-普通质量流量控制器。
-这个系列性价比高。
-光亮退火,耐腐蚀性强。
-数字通信:EtherCAT,Device NET, RS-485, Analog。
SPECIFICATIONS
model MARU3000 / 3001 / 3002 / 3010 / 3011 / 3012 / 3020 / 3021 / 3022 / 3030 / 3031 / 3032
flow range (N2 Equivalent) 5 sccm ~ 200 slm
Flow Rate Control Range 全量程5% ~ 100%
Accuracy ≤标准量程± 1.0% (35~100%), ≤全量程± 0.25% (5~35%)
Response Time < 1.0 秒
Linearity ≤全量程± 0.2%
Repeatability ≤全量程± 0.15%
Normal Operating Pressure 50~300 kPa (5 sccm ~ 30 slm), 250~450 kPa (30 slm ~ 200 slm)
Maximum Operating Pressure 300 kPa(5 sccm ~ 30 slm), 450 kPa(30 slm ~ 200 slm)
Valve Shut Down <全量程 1%
Zero Stability 每年全量程 ≤± 0.5%
Temperature Coefficient 每°C全量程 0.01%
Leak Integrity ≤ 5 x 10-¹² Pa.m³/sec (He)
Control Valve type 常闭电磁阀
Seal type PTFE
Digital Interface Analog 0~5 VDC, Digital RS-485, D-Net
Power Supply +15~24 VDC, 320mA max@15VDC, 300mA max @24VDC
Operation Temperature 5 ~50 °C (推荐温度范围 : 15~35 °C)
Warm-up Time 30 分钟 (保证精度 : 60 分钟)
Material STS-316L 光亮退火
Pressure Insensitivity
Display type 顶部安装集成 LCD (EtherCAT)
DIMENSIONS