TECHNOLOGY INNOVATION

MARU700 系列 (压力不敏感 MFC)
压力不敏感质量流量控制器

MARU700 系列 (压力不敏感 MFC)
FEATURES
-压力不敏感函数
-高稳定性、高精度、高重复性
-快速响应时间
-各种应用领域
-数字通信:Device NET, RS-485, Analog
SPECIFICATIONS
model MARU700 / 701 / 702 / 710 / 711 /712 / 720 / 721 / 722 / 730 / 731 / 732
flow range (N2 Equivalent) 5 sccm ~ 200 slm
Flow Rate Control Range 全量程的 2% ~ 100%
Accuracy ≤标准量程± 1.0% (35~100%), ≤全量程± 0.35% (5~35%)
Response Time ≤ 1.0 秒
Linearity ≤全量程± 0.2%
Repeatability ≤全量程± 0.2%
Normal Operating Pressure 50~300 kPa (5 sccm ~ 30 slm), 250~450 kPa (30 slm ~ 200 slm)
Maximum Operating Pressure 300 kPa(5 sccm ~ 30 slm), 450 kPa(30 slm ~ 200 slm)
Valve Shut Down <全量程 0.01% (5 sccm ~ 30 slm), <全量程 0.1% (30 slm ~ 200 slm),
Zero Stability 每年全量程≤± 0.5%
Temperature Coefficient 每°C全量程 0.01%
Leak Integrity ≤ 1 x 10-10 Pa.m³/sec (He)
Control Valve type 常闭电磁阀
Seal type PTFE
Digital Interface Analog 0~5 VDC, Digital RS-485, D-Net, EtherCAT
Power Supply +15~24 VDC, 320mA max@15VDC, 300mA max @24VDC
Operation Temperature 5 ~50 °C (推荐温度范围 : 15~35 °C)
Warm-up Time 30 分钟 (保证精度 : 60 分钟)
Material STS-316L
Pressure Insensitivity ≤全量程± 2% 上升/下降 至 5psi/sec
Display type 顶部安装集成4位 FND , LCD
DIMENSIONS