TECHNOLOGY INNOVATION

MARU300 系列
数字式质量流量控制器

MARU300 系列
FEATURES
-高稳定性、高精度、高重复性。
-快速响应时间。
-各种应用领域。
-数字通信:Device NET, RS-485, Analog。
SPECIFICATIONS
model MARU300 / 301 / 302 / 310 / 311 / 312 / 320 / 321 / 322 / 330 / 331 / 332
flow range (N2 Equivalent) 5 sccm ~ 200 slm
Flow Rate Control Range 全量程的 2% ~ 100%
Accuracy ≤标准量程± 1.0% (35~100%), ≤全量程± 0.5% (5~35%)
Response Time ≤ 1.0 秒
Linearity ≤全量程± 0.2%
Repeatability ≤全量程± 0.2%
Normal Operating Pressure 50~300 kPa (5 sccm ~ 30 slm), 250~450 kPa (30 slm ~ 200 slm)
Maximum Operating Pressure 300 kPa(5 sccm ~ 30 slm), 450 kPa(30 slm ~ 200 slm)
Valve Shut Down
Zero Stability 每年全量程≤± 0.5%
Temperature Coefficient 每°C全量程 0.01%
Leak Integrity ≤ 1 x 10-10 Pa.m³/sec (He)
Control Valve type 常闭电磁阀
Seal type PTFE
Digital Interface Analog 0~5 VDC, Digital RS-485, D-Net
Power Supply +15~24 VDC, 320mA max@15VDC, 300mA max @24VDC
Operation Temperature 5 ~50 °C (推荐温度范围 : 15~35 °C)
Warm-up Time 30 分钟 (保证精度 : 60 分钟)
Material STS-316L
Pressure Insensitivity
Display type 顶部安装集成4位 FND , LCD
DIMENSIONS