안녕하십니까

엠케이피 주식회사입니다.

당사의 질량유량제어기(MFC, MARU Series)가 첨단 반도체 핵심 공정 연구에 성공적으로 적용되어,

그 우수한 결과가 재료 및 물리 분야 세계적으로 권위있는 국제 학술지인 'Applied Surface Science'에     

게재되었습니다.

광운대학교 전자바이오물리학과 권기청 교수 연구팀은 최근 당사의 MFC를 적용하여 '극저온 원자층 식각

(Cryogenic Atomic Layer Etch: Cryogenic ALE)' 실험 장비를 구축하고 연구를 진행했습니다.

해당 연구를 통해 기존 상온의 ALE 공정 대비 EPC(Etch per Cycle) 성능이 2~3배 향상되는 획기적인

결과가 도출되었습니다.

이는 차세대 반도체 전공정의 핵심 기술인 극저온 환경에서도 당사 MFC가 탁월한 정밀도와 신뢰성을

제공함을 입증한 뜻깊은 사례입니다.

자세한 논문 내용은 아래 링크 및 첨부된 첫 페이지 캡처본을 통해 확인하실 수 있습니다.     

(저작권 보호를 위해 논문 전문은 링크로 제공해 드립니다.)

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